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電気機械変換効率
検索件数 ： 1件
| シーズタイトル | 所属 | 研究者 |
|---|---|---|
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高い変換効率をもつ シリコン静電型MEMS共振器 ～電極構造要素と振動構造要素を接近配置する方法及びこれを用いたMEMSデバイス～ |
理工学部 機械工学科 | 鈴木 健一郎 |
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