電着ダイヤモンドワイヤ用高導電性・高耐酸性砥粒

理工学部 機械工学科

教授 谷 泰弘

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研究内容

近年、シリコン、サファイア、SiCなどの結晶材料の切断のために電着ダイヤモンドワイヤの需要が増えている。その製造にはニッケル被覆ダイヤモンド砥粒が使用されているが、メッキ液中で劣化して導電性を失うために、電着ダイヤモンドワイヤの安定製造や低コスト化に問題を有している。すなわち、砥粒には高導電性と高耐酸性が求められるが、これは相反する要求となる。

しかも電着ダイヤモンドワイヤの切れ味維持のために砥粒の凝集が生じないことが求められている。そこで、本研究室では耐酸性に優れるチタンコートダイヤモンド砥粒を部分的に窒化処理して部分的に導電性を高めた砥粒の開発を行っている。

セールスポイント

・電着ダイヤモンドワイヤの安定製造

・電着ダイヤモンドワイヤの低コスト化

応用例

シリコン、水晶、サファイア、SiCなどの結晶材料の切断用ソーワイヤのダイヤモンド砥粒

特許情報

特願2015-112562

研究キーワード

ダイヤモンドワイヤ ・ワイヤソー切断 ・結晶材料 ・ダイヤモンド砥粒 

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