高生産性を実現する研磨工具

理工学部 機械工学科

教授 谷 泰弘

この研究者の情報をみる

研究内容

本研究室では高生産性を実現する様々な研磨工具を開発した。ここでは粗研磨工程に使用される高機能ラップ工具と鏡面研磨用のエポキシ樹脂研磨パッドを紹介する。

金属短繊維を樹脂により固着させた低コストの高性能金属繊維含有ラップ工具を開発した。従来使用されている鋳鉄ラップ工具に比べ、砥粒の滞留性が大幅に改善され研磨能率が高い。さらに、工具表面には常に微細な凹凸が維持され、ドレッシング作業が不要で工具摩耗により研磨特性の低下がない。

開発した多孔質エポキシ樹脂研磨パッドは通常のウレタン樹脂研磨パッドに比べ、水系スラリーの濡れ性が良く仕上げ面粗さが同等でありながら研磨能率を2倍以上に向上できる。

応用例

LCD、LED、パワーデバイスなどの基板材料の粗研磨から鏡面研磨まで使用する高性能研磨工具を提供する。研磨工程の時間が大幅に短縮されるだけでなく、高い研磨速度、低い砥粒濃度等の過酷な研磨条件の場合、開発した研磨工具の威力が更に発揮できる。

特許情報

特開2015-042427/特開2016-43451

研究キーワード

ラップ工具 ・研磨パッド ・エポキシ樹脂 ・高生産性 ・長期安定性 

CONTACT

お問い合わせ

産学官連携活動一元窓口
立命館大学 研究部 BKCリサーチオフィス

TEL 077-561-2802 FAX 077-561-2811
MAIL liaisonb@st.ritsumei.ac.jp

研究・産学官連携のHPはこちら

研究者学術情報データベース